[发明专利]一种玻璃基片薄膜结构及其制备方法有效
| 申请号： | 202211028882.3 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN115161596B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 尚鹏;朱晨阳;曹波;马远飞;石红春;林泉;李欢欢;许宁 | 申请（专利权）人： | 有研国晶辉新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/10;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/22;C23C14/35;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/30;C23C16/32;C23C16/40;C23C16/50 |
| 代理公司： | 河北国维致远知识产权代理有限公司 13137 | 代理人： | 墨伟 |
| 地址： | 065201 河北省廊坊市三*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明属于玻璃薄膜制造领域，具体公开一种玻璃基片薄膜及其制备方法。玻璃基片薄膜结构，包括沉积于所述玻璃基片表面的渐变过渡层和设置在所述渐变过渡层上的匹配层。所述渐变过渡层包括第一组分和第二组分，所述第一组分为玻璃基片的主体组分，所述第二组分为Ge；其中第一组分中各元素的含量自所述玻璃基片至所述匹配层递减，第二组分中Ge的含量自所述玻璃基片至所述匹配层递增。本发明结合渐变思想与多层增透匹配思想，通过引入组分渐变的渐变过渡层材料，有效改善玻璃基片与玻璃基片薄膜结构的热力学参数及其应力匹配状态，显著提升玻璃基片薄膜结构与玻璃基片之间的结合性能以及复杂环境的适应性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 薄膜 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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