[发明专利]提高铪基铁电器件耐久性的方法及铪基铁电器件在审
| 申请号： | 202211021475.X | 申请日： | 2022-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN115332443A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 李秀妍;陈丹旸;司梦维 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;H01L23/64 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银;禹雪平 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种提高铪基铁电器件耐久性的方法及铪基铁电器件，该方法包括：在衬底上制备铪基薄膜；在所述铪基薄膜上形成金属电极，形成铪基器件；对所述铪基薄膜进行热退火使其结晶具有反铁电特性，得到铪基反铁电薄膜，形成铪基铁电器件；对所述铪基反铁电薄膜施加电场循环，使所述铪基反铁电薄膜在获得剩余极化强度的同时提高耐久性。本发明通过加以电场循环使铪基反铁电薄膜获得剩余极化强度，使其满足剩余极化强度的同时获得更好的耐久性。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 铪基铁电 器件 耐久性 方法 | ||
【主权项】：
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