[发明专利]一种晶圆低纹理缺陷的检测方法有效
| 申请号： | 202211017368.X | 申请日： | 2022-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN115100199B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 金琼洁;刘卫卫;欧阳一冉;彭德彪 | 申请（专利权）人： | 宁波鑫芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06V10/74;G06V10/762 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及图像处理领域，具体涉及一种晶圆低纹理缺陷的检测方法，基于图像处理，采集待检测晶圆表面灰度图像，划分为大小相同的区域，根据每个区域像素点的灰度值均值和灰度值方差得到每个区域和其他区域的结构相似性，根据结构相似性和每个区域像素点的灰度累加值得到每个区域和相邻区域之间的整体相似性得到整体相似性矩阵，对矩阵中的整体相似性数据进行密度聚类，根据聚类结果判断晶圆是否存在异常，对存在异常的晶圆获取到异常整体相似性数据对应的区域，根据该区域中晶粒和标准晶粒灰度值构建灰度差异矩阵，根据灰度差异矩阵计算每个晶粒的异常程度，根据异常程度判断晶粒是否异常，方法智能、精准、高效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆低 纹理 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
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