[发明专利]一种基于平面光波导平台的微型光谱仪及其制作方法在审
| 申请号： | 202211017283.1 | 申请日： | 2022-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN115326200A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 章伟;张子贤;胡雪峰;路珊珊 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学;滁州怡然传感技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01N21/01 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 王美章 |
| 地址： | 230009 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明是一种基于平面光波导平台的微型光谱仪及其制作方法。该光谱仪包括用于限制光传播的包覆层和芯层、用于连接光纤的光纤耦合接口、用于反射的凹面反射镜、用于分光且刻画在光波导平台上的反射光栅、CCD探测器。分析复色光通过光纤耦合接口，由反射镜反射进入光栅进行分光，直接由CCD探测器探测分析，形成光谱。该装置大大减小了光谱仪的尺寸，实现了高精度的分光，可用于小型设备的开发。采用一体化封装，结构更加紧凑。该装置体积小，精度高，模块化组装，可用于大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 平面 波导 平台 微型 光谱仪 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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