[发明专利]记录有指令的非瞬态计算机可读介质在审
| 申请号： | 202210983861.0 | 申请日： | 2022-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN115729052A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 孙任成;杨丰;刘梦;严飞 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06T7/00;G06N20/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述了在其上记录有指令的非瞬态计算机可读介质，指令被实施用于评估设计布局的所选图案集合的方法。方法包括：获得(i)由图案选择过程产生的第一图案集合，(ii)与第一图案集合相关联的第一图案数据，(iii)与第一图案数据相关联的特性数据，以及(iv)与第二图案集合相关联的第二图案数据。机器学习模型基于特性数据来训练，其中机器学习模型被配置为预测输入图案的图案数据。第二图案集合被输入到经训练的机器学习模型，以预测第二图案集合的第二图案数据。第一图案集合通过比较第二图案数据和预测的第二图案数据来评估。 | ||
| 搜索关键词： | 记录 指令 瞬态 计算机 可读 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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