[发明专利]透射反射快速切换的光学测量装置在审
| 申请号： | 202210951169.X | 申请日： | 2022-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN115308165A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 刘海云;谷鹏;熊启华 | 申请（专利权）人： | 北京量子信息科学研究院;清华大学 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59;G01N21/47;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人： | 刘兴;谢清萍 |
| 地址： | 100193 北京市海淀区中*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种透射反射快速切换的光学测量装置，装置包括：光源，生成平行光束；第一离轴抛物面镜，接收平行光束，并聚焦于待测样品；样品位置调节组件，可以调节待测样品在光路中的设置状态，使得光束经过待测样品时，透射经过或被待测样品反射；第二离轴抛物面镜，接收透射经过待测样品的光束并反射；反射镜组件，第一离轴抛物面镜接收被待测样品反射回的光束并反射生成的平行光束，反射至反射镜组件；第三离轴抛物面镜，第三离轴抛物面镜将接收到的光束聚焦于探测器。本申请利用共享的离轴抛物面镜，只通过转动材料样品，即可方便地实现透射和反射光学测量的快速切换。装置的工作波长可大范围覆盖紫外‑可见‑远红外波段，且不产生色差。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 反射 快速 切换 光学 测量 装置 | ||
【主权项】：
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