[发明专利]一种新型高腐蚀性化学品换热器在审
| 申请号： | 202210944873.2 | 申请日： | 2022-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN115235281A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 董锐;张海峰 | 申请（专利权）人： | 上海矽皓精密设备技术有限公司 |
| 主分类号： | F28D21/00 | 分类号： | F28D21/00;F28F9/00 |
| 代理公司： | 深圳市洪荒之力专利代理有限公司 44541 | 代理人： | 谢艳红 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明适用于化学品生产技术领域，尤其涉及一种新型高腐蚀性化学品换热器，包括本体，所述本体上设有进口和出口，所述本体内部设有若干分隔板，所述分隔板与分隔板之间、以及分隔板与本体之间形成一个导流通道，进口与出口分别位于导流通道的两端并且与导流通道相通，其中分隔板与本体为一体结构；本装置将分隔板与本体设置成一体结构，使得含聚四氟乙烯高分子化学材料换热器本体在使用过程中，消除了化学品流体的结晶，减少了颗粒状固体对晶圆产品表面的微刮痕，提高了半导体晶圆生产的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 腐蚀性 化学品 换热器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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