[发明专利]一种钌旋转溅射靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202210943255.6 | 申请日： | 2022-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN115233175A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 郑双明;白向钰;张若愚;夏雁宾;潘国栋;邬玉笙 | 申请（专利权）人： | 新加坡先进薄膜材料私人有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F3/02;B22F3/14;B22F3/15 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 韩静粉 |
| 地址： | 新加坡大士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种钌旋转溅射靶材的制备方法，包括以下步骤：S100：人工加压成型：将钌粉放入模具中，对钌粉进行人工加压，使得钌粉成型为相对密度为第一预设密度的第一预成型靶材；S200：真空热压成型，将第一预成型靶材连同模具放入真空热压机内加工得到相对密度为第二预设密度的第二预成型靶材，且第二预设密度大于第一预设密度；S300：热等静压成型，将第二预成型靶材放入热等静压机内加工，得到相对密度为第三预设密度的成型靶材，第三预设密度大于第二预设密度，且第三预设密度不小于99.5％。本发明所公开的钌旋转溅射靶材的制备方法可有效解决靶材成型过程中的体积收缩问题，使得靶材的形状更为可控，从而提高靶材在溅射过程中的稳定性以及成膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 溅射 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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