[发明专利]一种超高纯CuAl合金及其制备方法与用途在审
申请号: | 202210915916.4 | 申请日: | 2022-08-01 |
公开(公告)号: | CN115261655A | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;慕二龙;汪焱斌;周友平;廖培君 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C22C1/03 | 分类号: | C22C1/03;C22C9/01;C23C14/34 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 徐浩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种超高纯CuAl合金及其制备方法与用途,所述超高纯CuAl合金由超高纯电解Cu和超高纯Cu‑xAl中间合金组成,其中5at%≤x≤15at%。所述制备方法包括:将超高纯电解Cu和超高纯Cu‑xAl中间合金放置在真空感应熔炼炉的坩埚中,进行熔炼、垂直拉锭后,得到超高纯CuAl合金。所述超高纯Cu‑xAl中间合金中Al元素可以全部固溶在Cu的基体中形成Cu的固溶体,可以有效避免由于Al元素烧损导致合金成分不符合要求的问题,可用于集成电路芯片布线所需的超高纯CuAl靶材,能够大幅度改善芯片薄膜的电导率均匀性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 cual 合金 及其 制备 方法 用途 | ||
【主权项】:
暂无信息
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