[发明专利]一种超高纯CuAl合金及其制备方法与用途在审

专利信息
申请号: 202210915916.4 申请日: 2022-08-01
公开(公告)号: CN115261655A 公开(公告)日: 2022-11-01
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;慕二龙;汪焱斌;周友平;廖培君 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: C22C1/03 分类号: C22C1/03;C22C9/01;C23C14/34
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 徐浩
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及一种超高纯CuAl合金及其制备方法与用途,所述超高纯CuAl合金由超高纯电解Cu和超高纯Cu‑xAl中间合金组成,其中5at%≤x≤15at%。所述制备方法包括:将超高纯电解Cu和超高纯Cu‑xAl中间合金放置在真空感应熔炼炉的坩埚中,进行熔炼、垂直拉锭后,得到超高纯CuAl合金。所述超高纯Cu‑xAl中间合金中Al元素可以全部固溶在Cu的基体中形成Cu的固溶体,可以有效避免由于Al元素烧损导致合金成分不符合要求的问题,可用于集成电路芯片布线所需的超高纯CuAl靶材,能够大幅度改善芯片薄膜的电导率均匀性能。
搜索关键词: 一种 高纯 cual 合金 及其 制备 方法 用途
【主权项】:
暂无信息
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