[发明专利]激光扫描式二次谐波显微系统及二次谐波测试方法在审
| 申请号： | 202210908211.X | 申请日： | 2022-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115112573A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 李千;李为 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 尹婧 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种激光扫描式二次谐波显微系统及二次谐波测试方法。系统包括：激光发射模组，包括依次设置的飞秒激光器和第一半波片，第一半波片可沿飞秒脉冲激光的光轴旋转；样品放置模组用于放置样品；光束调整模组，设置在激光发射模组与样品放置模组之间，包括依次设置的振镜组和双色镜，振镜组与第一半波片光路连接；信号接收模组，包括依次设置的第一格兰泰勒棱镜和光电倍增管PMT光电探测器，第一格兰泰勒棱镜与双色镜光路连接，第一格兰泰勒棱镜可沿二次谐波光的光轴旋转。这样，通过振镜组直接偏转入射激光，连续多次测量能够保持测量区域的较小偏差，提高测量数据的准确性。且扫描定位精度更高，可以获得较高分辨率的二次谐波谱图像。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 扫描 二次 谐波 显微 系统 测试 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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