[发明专利]一种利用铜或铜合金制备的单晶炉水冷热屏及其制备方法有效
| 申请号： | 202210897951.8 | 申请日： | 2022-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN115341278B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 马明月;庾高峰;张航;李雷;宁超;王文斌 | 申请（专利权）人： | 陕西斯瑞新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B27/02 | 分类号： | C30B27/02;C30B29/06;C22F1/08;C21D9/08;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京栈桥知识产权代理事务所(普通合伙) 11670 | 代理人： | 胡颖 |
| 地址： | 710077 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用铜或铜合金制备的单晶炉水冷热屏及其制备方法，涉及铜合金制备技术领域，单晶炉水冷热屏包括相互套接的锥段外筒和锥段内筒，锥段外筒底部设有直段外筒，锥段内筒底部设有直段内筒，锥段外筒和锥段内筒之间形成用于过水的第一环形空间，直段外筒和直段内筒之间形成用于过水的第二环形空间，第一环形空间和第二环形空间之间设有环形挡板。单晶炉水冷热屏的制备方法包括以下步骤：S1、内外筒制备；S2、导流通路制备；S3、环形空间制备。本发明优化了单晶硅生长过程的温度分布，并与提拉速度相匹配，最终达到增加提拉速度以及提高生产效率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 铜合金 制备 单晶炉 水冷 及其 方法 | ||
【主权项】：
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