[发明专利]一种激光剥离晶锭实时监测系统及方法在审
| 申请号： | 202210871043.1 | 申请日： | 2022-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN115055846A | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 谢小柱;欧德亿;肖金承;任庆磊;胡伟 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B23K26/50 | 分类号： | B23K26/50;B23K26/53;B23K26/70 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 黄钰褀 |
| 地址： | 510090 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种激光剥离晶锭实时监测系统及方法，先通过CCD成像系统进行定焦，然后设置好声发射传感器和激光器，以保证激光光斑对准晶锭样件需要加工的位置，之后设置多种不同的激光单脉冲能量分别对样品的多个不同区域进行激光面扫描加工，以使声发射传感器得到相应的特征参数图在计算机中进行显示，然后对加工完的样品进行裂片处理，得到多种能量对应的截面形貌，并对每一种能量的截面形貌进行分析裂纹情况，结合截面形貌的分析，得到截面形貌与特征参数图之间的关联，发现了声发射信号的分布特点可对激光剥离的加工过程进行实时监测和对内部加工进行预判。本发明解决了现有技术不具备系统性实时监测的难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 剥离 实时 监测 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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