[发明专利]反射镜面形检测系统及其检测方法在审
| 申请号： | 202210870591.2 | 申请日： | 2022-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN115218819A | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 李元鹏;郭疆;朱磊;杨利伟;崔永鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种反射镜检测系统及其检测方法，其中的检测系统包括：干涉仪、法兰结构、真空容器和CGH；干涉仪用于发出一束检测光束入射至位于检测光束焦点位置处的法兰结构中；法兰结构设置有锥形通光孔，检测光束经锥形通光孔后入射至真空容器中，真空容器内设置有CGH和被测反射镜，检测光束经过CGH入射至被测反射镜中，并将真空容器调整至预设气压范围下对被测反射镜进行面形检测。本发明通过焦点处透光的方式，避免了采用窗口的真空环境反射镜面形检测方法，具有检测结果更直观、准确率高、成本低、简单易实现的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 镜面形 检测 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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