[发明专利]一种钙钛矿薄膜及其制备方法和装置

摘要

本发明属于钙钛矿薄膜制备技术领域，具体涉及一种钙钛矿薄膜及其制备方法和装置。该方法包括(1)钙钛矿前驱体B1X和B2X2溶于有机溶剂中形成前驱体溶液，将前驱体溶液涂布在基底上，干燥，然后将基底浸没在液体介质中进行第一退火，得到无机骨架层；(2)将前驱体AX蒸镀到所述无机骨架层形成有机层，然后将有机层浸没在液体介质中进行第二退火。该方法制得的钙钛矿薄膜具有较好的均一性和结晶性，薄膜中晶粒形状均一、粒径大、致密性好，膜层中的空穴少，有助于提高电子的传输，进而提高了器件的效率和稳定性。