[发明专利]一种用于半导体制程的悬浮液在审
| 申请号： | 202210863467.3 | 申请日： | 2022-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN115181545A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 刘小勇;田博;房龙翔;侯琳熙;叶鑫煌;肖小江;刘文生 | 申请（专利权）人： | 福建省佑达环保材料有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 林文弘;蔡学俊 |
| 地址： | 362800 福建省泉州市泉*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于半导体制程的悬浮液，用于半导体晶圆制造中。该悬浮液通过特定的阴‑非离子表面活性剂复配，产生协同效应，配合有机碱、有机溶剂、增稠剂优化组合，极大的提高体系表面性能，水溶性好，使用寿命长，与现有直接添加固体增稠剂的方法相比，使用方便、对产品良率波动影响小，材料组成对环境友好，能够满足半导体制程的工艺要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 悬浮液 | ||
【主权项】：
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