[发明专利]一种抗粉化块体吸气剂及其制备方法

摘要

本发明提供了一种抗粉化块体吸气剂的制备方法，步骤为：将吸气合金中的原料按一定比例进行配制，通过熔炼的方法制备成合金，然后对合金在保护气氛下进行破碎和球磨；将吸气合金粉末与一定比例的钛及钛合金纤维均匀混合形成合金混合物；将上述合金混合物在钢性模具中进行压制形成压坯；在真空度为3～5×10‑3Pa的真空环境下，对压坯进行真空烧结，即可得到抗粉化能力强的块体吸气剂。本发明产生的块体吸气剂产品，在MEMS晶元级封装中具有较好的韧性，克服了产品使用过程中掉粉掉渣的现象，能够维持晶元封装后在振动环境下较好的真空度，有利于延长使用寿命，并且结构设计简单，适合大批量生产，可以有效地满足用户的需求。