[发明专利]一种简便高效高能离子束发射装置在审
| 申请号： | 202210823028.X | 申请日： | 2022-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN115499992A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 程文雅;陈小曼 | 申请（专利权）人： | 珠海凯赛奥表面技术有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张德才 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种简便高效高能离子束发射装置，涉及离子束发射装置技术领域，包括离子束产生组件、离子束传输组件和离子束引出组件；离子束传输组件位于离子束产生组件和离子束传输组件之间；离子束产生组件包括陶瓷套和金属阴极；陶瓷套内壁与金属阴极的外壁通过齿合结构相连接。金属阴极和陶瓷通过齿合结构充分接触，无需涂碳，大大提高等离子体的产出，提高效能；加速电极采用V型结构，半径方向离子束束流均匀性变化不大于5％，同时使得等离子体在宽度方向扩展明显，束斑尺寸增加1倍以上，大幅提高均匀性和横向宽幅；通过脉冲强磁场大幅提高引出效率，整体离子束装置最大束流可为100mA，最大能量可为100KeV，稳定工作时长不低于100h。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 简便 高效 高能 离子束 发射 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于珠海凯赛奥表面技术有限公司，未经珠海凯赛奥表面技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210823028.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
