[发明专利]一种基于桥型电磁线圈的集总型折叠迈克尔逊电光调制器在审
| 申请号： | 202210821104.3 | 申请日： | 2022-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN115308833A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 宋若谷;蔡艳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/125;G02F1/21 |
| 代理公司： | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人： | 钱文斌 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于桥型电磁线圈的集总型折叠迈克尔逊电光调制器，包括光波导部分和电极部分，所述光波导部分包括：多模干涉耦合器、生长在第一平板区上的第一波导、生长在第二平板区上的第二波导；其中，第一波导和第二波导均至少有一个折弯并形成U型区域；电极部分包括上金属层、下金属层和桥型电磁线圈，下金属层布置在第二波导外侧以及第二波导形成的U型区域之间，并通过第一连接与第二平板区连接；上金属层位于下金属层上方，并通过第二连接与下金属层连接；上金属层还与桥型电磁线圈相连，桥型电磁线圈一端与信号输入端相连，另一端与终端电阻一端连接，终端电阻的另一端与上金属层连接。本发明能够减小尺寸，并且提高器件的带宽性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电磁 线圈 集总型 折叠 迈克 电光 调制器 | ||
【主权项】：
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