[发明专利]一种微通道技术的化学反应器在审
| 申请号： | 202210818433.2 | 申请日： | 2022-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN115007082A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 丁欣 | 申请（专利权）人： | 上海埃延管理咨询合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 201914 上海市崇明区横*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，提出一种微通道技术的化学反应器，包括：气密腔体；以及隔离腔体，其布置于所述气密腔体内，其中衬底布置于所述隔离腔体内，所述隔离腔体具有微通道。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 技术 化学 反应器 | ||
【主权项】：
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