[发明专利]一种基于叉指电极单元设计的薄膜式压力感测片在审
| 申请号: | 202210815462.3 | 申请日: | 2022-07-12 |
| 公开(公告)号: | CN115307785A | 公开(公告)日: | 2022-11-08 |
| 发明(设计)人: | 王杰营;叶宏;何国伟;夏小钦 | 申请(专利权)人: | 钛深科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号: | G01L1/04 | 分类号: | G01L1/04;G01L7/08;G01L9/02;G01L9/12 |
| 代理公司: | 江苏斐多律师事务所 32332 | 代理人: | 向妮 |
| 地址: | 518112 广东省深圳市龙岗区吉华*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明公开一种基于叉指电极单元设计的薄膜式压力感测片,包括感测材料层、电极层和连接层,电极层具有至少一个叉指电极单元,叉指电极单元与其正对应的感测材料构成一个感测单元;叉指电极单元包括至少两个叉指部和用于连接叉指部的汇流部;还包括若干采用弹性绝缘材料制作的凸起;所述凸起布置在感测材料层和电极层之间叉指电极单元的汇流部处。本发明不仅可以实现在不改变薄膜式压力传感器材料的情况下调整薄膜式压力传感片的测量量程,同时还可以在不改变薄膜式压力感测片的面积及包含的叉指电极单元的个数及排布方式的情况下增加薄膜式压力传感片的测量量程。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 基于 电极 单元 设计 薄膜 压力 感测片 | ||
【主权项】:
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