[发明专利]一种定量评价薄膜结合强度的方法在审
| 申请号： | 202210806639.3 | 申请日： | 2022-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN115112478A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 邱龙时;赵婧;胡小刚;江海霞;张思雨;潘晓龙;张于胜 | 申请（专利权）人： | 西安稀有金属材料研究院有限公司;中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08;G01N19/04 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 魏法祥 |
| 地址： | 710016 陕西省西安市西安经济*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了一种定量评价薄膜结合强度的方法，包括以下步骤：一、将表面沉积有薄膜的基底通过夹具固定在样品台上；二、调节样品台高度，使压头接触薄膜，固定样品台；三、将压头对薄膜施压；四、将压头进行卸载；五、将具有压痕的薄膜进行观察和测量；步骤六、计算薄膜结合强度，得到薄膜结合强度。本发明采用压头在一定载荷范围内压入薄膜表面，造成薄膜沿膜/基界面发生剥落，采用光学显微镜或是扫描电子显微镜测量得到压痕和剥落最大区域的半径或是直径，获得压痕特征参数r |
||
| 搜索关键词： | 一种 定量 评价 薄膜 结合 强度 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安稀有金属材料研究院有限公司;中国原子能科学研究院，未经西安稀有金属材料研究院有限公司;中国原子能科学研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210806639.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
