[发明专利]一种丙酮气体传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种丙酮气体传感器及其制备方法，其中丙酮气体传感器包括微热电极板，所述微热电极板上涂覆由BP/ZnFe2O4复合材料形成的气体敏感层，所述微热电极板包括支撑薄膜，支撑薄膜上固定有加热器，加热器上覆盖有隔离薄膜，隔离薄膜上设置有叉指电极。本发明制备的丙酮气体传感器可以灵敏地探测100ppb‑2ppm范围内的丙酮气体表现出较大的响应，相较于与纯ZnFe2O4气敏材料的信号，BP/ZnFe2O4复合材料中BP的引入使得气敏材料的电子转移速度加快，氧空位增加，比表面积增大，增加了气体分子的吸附位点，促进了气体分子在敏感薄膜内的吸附和扩散，从而提升了传感器的吸附/解吸附速度和响应强度。