[发明专利]导流组件和具有其的长晶炉、长晶方法有效
| 申请号： | 202210765481.X | 申请日： | 2022-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN115233291B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 中环领先（徐州）半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 李雪静 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种导流组件和具有其的长晶炉、长晶方法，导流组件包括：第一导流件、第二导流件和第一驱动件。第一导流件设置于坩埚上方；第二导流件与第一导流件沿长晶炉轴向间隔设置，第一导流件与第二导流件之间限定出第一流道，第一流道的进气口朝向坩埚；第一驱动件与第一导流件和/或第二导流件连接，用于驱动第一导流件与第二导流件远离或靠近，以控制第一流道在长晶炉轴向上的尺寸。根据本发明实施例的导流组件，通过第一导流件和第二导流件相互远离或者靠近，可以使得第一流道和第三流道被分别打开或者关闭，从而能较好地对长晶炉内的气体压力进行调控，以维持长晶炉内气氛环境的稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 导流 组件 具有 长晶炉 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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