[发明专利]一种激光蚀刻过程热形变自适应控制方法在审
| 申请号： | 202210749365.9 | 申请日： | 2022-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN114918553A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 武艳美 | 申请（专利权）人： | 南京先进激光技术研究院 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/03;B23K26/70 |
| 代理公司： | 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 210038 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种激光蚀刻过程热形变自适应控制方法，通过对加工区域的栅格化处理，将加工区域分区域扫描加工，按照经验证的规划路径调整栅格单元的加工顺序；为了更好的控制加工过程的热形变，采用机器视觉实时测量刻蚀过程中各个栅格单元的热形变量，若出现热形变量超过设定阈值的情况，停止当前栅格单元的加工，依据加工顺序进行下一栅格单元的加工，通过实时调整栅格单元的加工，可以有效地控制热形变量，实现薄板的高质量加工；该方法有效降低了加工前准备的投入，可以有效地控制热形变量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 蚀刻 过程 形变 自适应 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京先进激光技术研究院，未经南京先进激光技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210749365.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
