[发明专利]一种流量自适应的智能气体标定控制方法在审

专利信息
申请号: 202210748975.7 申请日: 2022-06-29
公开(公告)号: CN115166010A 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 宋崇林;王晨晰;吕刚;唐佳媞;刘子枫 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: G01N27/62 分类号: G01N27/62;H01J49/02;H01J49/42
代理公司: 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 代理人: 李素兰
地址: 300350 天津市津南区海*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种流量自适应的智能气体标定控制方法,包括:PID控制器控制进气数控流量计的电子阀门开度使标定气流量从0mL/min开始以恒定的速度进行流量的提升;当进气流量满足待标定仪器的标定流量时,多余的气体通过溢流管路流出,并被溢流数控流量计进行测量,溢流数控流量计将溢流流量信号反馈给PID控制器;当溢流流量达到进气流量一定比例时,PID控制器向进气数控流量计发送保持当前开度指令,使进气管路中流量停止上升并保持当前气体流量。本发明方法可在不明确待测设备所需标定气气体流量的条件下,通过数控流量计并结合溢流反馈控制策略,实现自动确定待测设备最佳标定气气体流量并以最佳标定气气体流量进行标定的功能。
搜索关键词: 一种 流量 自适应 智能 气体 标定 控制 方法
【主权项】:
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