[发明专利]一种表面声波滤波器芯片及其制备方法在审
| 申请号： | 202210740724.4 | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN115276583A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 樊永辉;张汪根;许明伟;樊晓兵 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇芯通信技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08;H03H9/02;H03H9/64 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人： | 欧阳燕明 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区华富街道莲*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开一种表面声波滤波器芯片及其制备方法，通过在衬底上形成AlN压电层，将AlN压电层划分为第一芯片区和第二芯片区后，分别在第一芯片区和第二芯片区上形成第一IDT电极和第二IDT电极，且第一IDT电极与第二IDT电极具有不同的尺寸，由于AlN压电层形成的AlN压电薄膜具有更高的声速，在其上分别形成具有不同尺寸的第一IDT电极和第二IDT电极时，第一IDT电极和第二IDT电极能够分别对应不同的需求频段，即实现在同一片晶圆相同的制程中实现两个不同频段的射频滤波器的集成芯片，满足WiFi6对双频段的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 声波 滤波器 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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