[发明专利]应变传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210740052.7 | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN115164705A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 李学瑞;李炯利;王刚;罗圭纳;王旭东 | 申请（专利权）人： | 北京石墨烯技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16;C23C14/35;C23C14/04;C23C14/06;C23C14/14;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 董娟 |
| 地址： | 100094 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应变传感器及其制备方法。应变传感器包括弹性体组件以及若干个电阻应变片，弹性体组件包括弹性体主体以及载荷梁，弹性体主体具有相对设置的第一表面与第二表面，第一表面具有若干个沿着第一方向延伸的通槽，通槽的底壁与第二表面之间构成应变梁，弹性体主体具有贯穿第一表面与第二表面且沿着第二方向延伸的通道，载荷梁位于通道内，载荷梁的第一端部连接于通道的内壁且载荷梁相对的第二端部与通道的内壁具有间隔，各个应变梁上均具有电阻应变片，各个电阻应变片通过光刻工艺形成于对应的应变梁上。本发明的应变传感器减小了弹性体的体积，使得应变弹性体小型化、微型化，其应用空间、范围更大，提高了使用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 应变 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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