[发明专利]柔性石墨烯场效应晶体管及制备方法在审
| 申请号： | 202210733104.8 | 申请日： | 2022-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN115000164A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 贾原;胡波;张文伟;孙浩;王程;田金鹏;宋秋明 | 申请（专利权）人： | 深圳技术大学 |
| 主分类号： | H01L29/51 | 分类号： | H01L29/51;H01L29/772;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/49 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 曾俊杰 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明涉及晶体管加工技术领域，具体涉及石墨烯场效应晶体管集成器件及制备方法，包括以下步骤：提供基片的步骤，基片固定在衬底上；利用热蒸镀的方式在基片上形成栅极；利用ALD原子层沉积镀膜的方法在栅极上依次形成一层Ti成核层和HfO |
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| 搜索关键词： | 柔性 石墨 场效应 晶体管 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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