[发明专利]基板处理装置、半导体装置的制造方法、基板处理方法以及记录介质

摘要

本发明涉及基板处理装置及方法、半导体装置的制造方法、记录介质。能削减伺服电动机控制的搬送装置的消耗电力的技术。具备搬送对象物的搬送装置的技术，具备：电动机；电动机驱动电路；编码器，检测电动机输出轴旋转角度；驱动系统，将电动机输出轴运动传给对象物；原点传感器，检测与对象物联动的驱动系统的预定部位来到预定位置；伺服放大器，包含驱动电路，基于编码器和原点传感器的检测保持对象物当前位置，控制对象物为目标位置；绝对位置保持部，至少在断开驱动电路期间基于编码器检测取得预定部位绝对位置；节电控制器，能与伺服放大器双向通信，在驱动电路接通时将记录于绝对位置保持部的当前位置作为预定部位当前位置再次开始伺服控制。