[发明专利]一种大形变高面形精度变曲率反射镜结构参数优化方法有效
| 申请号： | 202210730265.1 | 申请日： | 2022-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN115079390B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 解晓蓬;赵惠;邹刚毅;许亮;夏思宇;吴豪;王鹏飞;樊学武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B17/06 | 分类号： | G02B17/06 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大形变高面形精度变曲率反射镜结构参数优化方法，可应用于大变倍比成像。解决目前变曲率反射镜形变小、形变后面形精度低等问题。首先，确定变曲率反射镜产生相应曲率变化时，中心形变量大小；其次，确定变曲率反射镜中心厚度；再其次，绘制变曲率反射镜的初始结构模型；对变曲率反射镜的初始结构模型进行有限元分析，得到变曲率反射镜在各预设参数下形变后的初始面形精度及中心形变量；使用控制变量的方法，以此对影响变曲率反射镜中心形变量及面形精度的参数值进行改变，得到合适的变曲率反射镜的结构参数；最后，对变曲率反射镜的厚度分布进行像差的针对性优化，经过反复迭代优化，得到面形精度满足要求的结构参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 形变 高面形 精度 曲率 反射 结构 参数 优化 方法 | ||
【主权项】：
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