[发明专利]垂直腔面发射激光器及其制作方法在审
| 申请号： | 202210729957.4 | 申请日： | 2022-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN115021079A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 李远哲 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/028 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种垂直腔面发射激光器及其制作方法，所述制作方法包括：提供一衬底，衬底的正面上依次形成有N型DBR层、有源层、P型DBR层、第一镓砷层、第一高阻层以及第二镓砷层，第一高阻层的材料包含Al |
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| 搜索关键词： | 垂直 发射 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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