[发明专利]一种针对晶圆检测数据的处理方法、系统及存储介质

摘要

本发明涉及一种针对晶圆检测数据的处理方法，包括步骤：通过任务管理端获取待处理的晶圆检测数据；基于晶圆检测数据的参数关系特征匹配到对应的拆分规则；基于拆分规则对晶圆检测数据进行拆分，得到若干第一任务块；基于第一任务块之间的关系特征对第一任务块进行编排，得到至少一个子任务以及子任务的优先级；基于子任务的计算量以及优先级，将至少一个子任务分配到对应的计算节点上，且计算节点构建于计算端的预留资源处。本发明对应地还提供了一种针对晶圆检测数据的处理系统以及计算可读存储介质。本发明所提供的方法、系统及存储介质可以高效地处理晶圆检测数据。