[发明专利]检查装置和检查方法在审
| 申请号： | 202210711247.9 | 申请日： | 2022-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN115561605A | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 石井滋树;成川健一;榑林信弥 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够缩短测量时间的检查装置和检查方法。检查装置包括：电功率供给部，其对多个被检查体施加规定的输出电压；切换部，其对要测量电流的上述被检查体进行切换；测量部，其测量由上述切换部选择的上述被检查体的电流；和控制上述切换部的控制部，上述控制部基于所设定的关于电流测量的设定值，切换顺次方式和扫描方式，上述顺次方式是在对一个被检查体进行了规定次数的电流测量之后，切换上述切换部而对其他被检查体进行规定次数的电流测量的方式，上述扫描方式是将处理反复进行规定次数的方式，该处理是在对一个被检查体进行了电流测量之后，切换上述切换部而对其他被检查体进行电流测量的处理。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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