[发明专利]一种无网格大动态范围哈特曼波前测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 202210696386.9 | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN114777933B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 蒋志雄;周文超;魏继锋;黄德权;彭琛;解平;常艳;李光;严伟;雷德川;沙子杰;魏蔚 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 贾林 |
| 地址： | 621000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种无网格大动态范围哈特曼波前测量装置及测量方法，测量装置包括沿光路设置的光束匹配组件，分光棱镜、微透镜阵列一、探测器一、微透镜阵列二、探测器二、同步触发器与数据处理器。测量方法为；步骤S1：采用标准平行光源对该装置进行标定，并建立微透镜阵列一、探测器一、与微透镜阵列二、探测器二上靶面点阵的共线关系；步骤S2：通过同步触发器触发探测器一采集被测透射光束波前点阵信息，触发探测器二采集被测反射光束波前点阵信息；步骤S3:确定步骤S2中透射光束波前点阵；步骤S4:求取被测激光束波前。本发明不采用哈特曼网格，不受网格限制，无需跨网格光斑点阵识别，提高了波前探测的动态范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 网格 动态 范围 哈特曼波前 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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