[发明专利]一种皮肤触觉仿生系统及其制备方法在审
申请号: | 202210627403.3 | 申请日: | 2022-06-05 |
公开(公告)号: | CN115014584A | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 齐红霞;刘菁 | 申请(专利权)人: | 江苏师范大学 |
主分类号: | G01L1/00 | 分类号: | G01L1/00;B82Y15/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 南京合砺专利商标代理事务所(普通合伙) 32518 | 代理人: | 许云花 |
地址: | 221116 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种皮肤触觉仿生系统及其制备方法,该系统从下至上依次包括柔性衬底、底电极薄膜、氧化锌纳米线层、缺氧氧化锌薄膜及顶电极薄膜;制备时先对柔性衬底的表面进行氢等离子体处理,在等离子体处理后的柔性基底上形成底电极薄膜,并采用激光焊接方式在该底电极薄膜上固定连接氧化锌纳米线层,最后,在氧化锌纳米线层上依次形成缺氧氧化锌薄膜及顶电极薄膜,并通过电极引线实现底电极薄膜、顶电极薄膜与脉冲电源连接。本发明的皮肤触觉仿生系统能够具有优异的循环保持性和抗疲劳性;同时,其制备方法能够在界面处预置缺陷层,降低了底电极与纳米线的接触势垒。 | ||
搜索关键词: | 一种 皮肤 触觉 仿生 系统 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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