[发明专利]一种皮肤触觉仿生系统及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202210627403.3 申请日: 2022-06-05
公开(公告)号: CN115014584A 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 齐红霞;刘菁 申请(专利权)人: 江苏师范大学
主分类号: G01L1/00 分类号: G01L1/00;B82Y15/00;B82Y40/00
代理公司: 南京合砺专利商标代理事务所(普通合伙) 32518 代理人: 许云花
地址: 221116 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种皮肤触觉仿生系统及其制备方法,该系统从下至上依次包括柔性衬底、底电极薄膜、氧化锌纳米线层、缺氧氧化锌薄膜及顶电极薄膜;制备时先对柔性衬底的表面进行氢等离子体处理,在等离子体处理后的柔性基底上形成底电极薄膜,并采用激光焊接方式在该底电极薄膜上固定连接氧化锌纳米线层,最后,在氧化锌纳米线层上依次形成缺氧氧化锌薄膜及顶电极薄膜,并通过电极引线实现底电极薄膜、顶电极薄膜与脉冲电源连接。本发明的皮肤触觉仿生系统能够具有优异的循环保持性和抗疲劳性;同时,其制备方法能够在界面处预置缺陷层,降低了底电极与纳米线的接触势垒。
搜索关键词: 一种 皮肤 触觉 仿生 系统 及其 制备 方法
【主权项】:
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