[发明专利]清洗装置在审
| 申请号： | 202210619950.7 | 申请日： | 2022-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN115432872A | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 稻员进;田尻一隆 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | C02F9/08 | 分类号： | C02F9/08;H01L21/67;C02F103/34 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 杨俊波;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供清洗装置，削减纯水生成装置的设置空间，使清洗水的水质管理容易，将向被清洗物提供清洗水的机构简化，提高向被清洗物提供清洗水的效率。该清洗装置使用清洗水清洗被清洗物，回收废液使纯水再生并循环，具有：保持工作台，其保持被清洗物；清洗水提供喷嘴，其向该保持工作台所保持的被清洗物提供清洗水；废液罐，其将使用后的清洗水收纳为废液；废液泵，其从该废液罐汲取该废液；过滤器，其过滤该废液泵所汲取的废液而精制成清水；清水罐，其收纳该清水；紫外光源，其向该清水照射紫外线；清水泵，其从该清水罐汲取该清水；离子交换树脂单元，其使该清水泵所汲取的该清水与离子交换树脂接触而精制纯水；电阻率值计，其测量该纯水的电阻率值。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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