[发明专利]一种分束式自动对焦系统及方法在审
| 申请号： | 202210574173.9 | 申请日： | 2022-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN115383287A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 肖向荣;王雪辉 | 申请（专利权）人： | 武汉松盛光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/046 | 分类号： | B23K26/046;B23K26/06;B23K26/064;B23K26/067;G02B7/28 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种分束式自动对焦系统，其特征在于，包括图像拟合计算机、运动执行机构以及沿反射光路依次设置的物方聚焦镜、光栅分束器、像方聚焦镜和CCD相机，所述光栅分束器的中心、像方聚焦镜的中心和CCD相机的光接受面中心三点共线，所述CCD相机的光接受面与像方聚焦镜之间存在夹角；所述图像拟合计算机与所述CCD相机电连接；所述运动执行机构通过光斑直径变化曲线的最小点和中心点的重合情况可选择的带动样品或者物方聚焦镜移动，其可以实现激光加工过程中快速精确的实时自动对焦，无需复杂的光路和高难度的计算机处理，本申请还提供了一种分束式自动对焦方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分束式 自动 对焦 系统 方法 | ||
【主权项】：
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