[发明专利]一种长细金属管内电弧合金粉末溅射冶金熔融镀膜方法在审

专利信息
申请号: 202210548988.X 申请日: 2022-05-20
公开(公告)号: CN114921762A 公开(公告)日: 2022-08-19
发明(设计)人: 刘群礼;赵华 申请(专利权)人: 北京佳锐恒盛新材料科技有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/04;C23C14/54
代理公司: 北京巨弘知识产权代理事务所(普通合伙) 11673 代理人: 王辉
地址: 101318 北京市密云区滨河路46号文*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种长细金属管内电弧合金粉末溅射冶金熔融镀膜方法,采用磁化电弧阴极中心送粉,在阳极通道内熔融喷射到溅射体棒材上,合金液滴经过电弧羽流的加速,达到1000‑‑1500m/s的纵向速度,撞击溅射靶材。靶材表面因电弧羽流加热处于熔融流体状态,高速液滴撞击靶材液态表面,形成合金液滴溅射,溅射出去的合金液滴在磁化高电子密度等离子体羽流中带负电,带负电的液滴在金属管道壁与溅射靶材锥体间的电场加速下,以2000m/s的径向速度飞向管道内壁,合金液滴撞击金属内壁基材,颗粒的动能转化成熔融基材表面面积Sσ、深度H表层的热能,溅射液滴与基材碰撞熔融,形成冶金熔融结合镀层,镀层抗拉伸强度优于600MPa。
搜索关键词: 一种 金属管 电弧 合金 粉末 溅射 冶金 熔融 镀膜 方法
【主权项】:
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