[发明专利]一种体声波谐振器、制备方法以及体声波滤波器在审
| 申请号： | 202210544398.X | 申请日： | 2022-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN114826184A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 赖志国;杨清华 | 申请（专利权）人： | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/56;H03H9/58 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王风茹 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种体声波谐振器、制备方法以及体声波滤波器。该体声波谐振器的制备方法包括：提供衬底；在衬底之上形成底电极和压电层；在压电层背离底电极的表面的边缘形成牺牲层，其中，牺牲层包括空气桥结构牺牲层以及悬翼结构牺牲层中的至少一种；通过表面处理工艺在牺牲层背离压电层的至少部分表面形成凹凸不平的表面，以形成第一粗糙表面；在牺牲层背离压电层的表面形成顶电极；释放牺牲层。本发明实施例提供的技术方案，通过在空气桥结构或者悬翼结构设置粗糙散射表面，有效消耗进入空气桥结构或者悬翼结构的横波和杂波，从而提升了体声波谐振器的Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 制备 方法 以及 滤波器 | ||
【主权项】：
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