[发明专利]一种用于批量制备全息衍射波导的曝光区域计算方法及其应用有效
| 申请号： | 202210543887.3 | 申请日： | 2022-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN114815024B | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 苏鑫;沈忠文;卢超月;高永丽;田闯;王鹏;杨燕;李镇 | 申请（专利权）人： | 南京工业职业技术大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/00 |
| 代理公司： | 南京合砺专利商标代理事务所(普通合伙) 32518 | 代理人： | 刘渊 |
| 地址： | 210023 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于批量制备全息衍射波导的曝光区域计算方法及其应用，所述方法用于批量制备全息衍射波导的曝光装置的中的全息干板移动控制和曝光区域形状及面积计算，根据曝光参数，计算出入耦合光栅尺寸和波导片尺寸，进一步的在批量制备全息衍射波导的曝光装置通过控制全息干板的移动，包括控制其位移、位移间隔时间和待曝光的区域形状及面积，得到全息干板曝光结束总时长以及总位移的相关控制信号，最后通过控制电机平移台的输入电流信号，基于批量曝光装置，实现全息波导光栅的批量曝光处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 批量 制备 全息 衍射 波导 曝光 区域 计算方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京工业职业技术大学，未经南京工业职业技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210543887.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
