[发明专利]一种基于角分辨散散测量各向同性随机表面粗糙指数的方法及其装置在审

专利信息
申请号: 202210528658.4 申请日: 2022-05-16
公开(公告)号: CN114964070A 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 王金鑫;李嘉欣;高雅茹 申请(专利权)人: 山东师范大学
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30
代理公司: 武汉菲翔知识产权代理有限公司 42284 代理人: 张红
地址: 250014 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种基于角分辨散散测量各向同性随机表面粗糙指数的方法及其装置,激光光源发出的光束经小孔滤除杂散光和衰减片衰减后,由反射镜反射到第一凸透镜,并照射到各向同性随机表面样品上;由两片毛玻璃和白纸组成散射图像接收屏,用于接收散射图像;从各向同性随机表面样品散射后的光照射到所述散射图像接收屏,并经第二凸透镜成像到探测器,得到光强散射图像。根据光强散射图像获取入射角和散射角都确定时的光强散射轮廓曲线求得光强散射轮廓曲线的半宽度,再由光强散射轮廓曲线的半宽度与波矢的垂直分量的关系,得到各向同性随机表面的粗糙指数。
搜索关键词: 一种 基于 分辨 散散 测量 各向同性 随机 表面 粗糙 指数 方法 及其 装置
【主权项】:
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