[发明专利]一种晶圆清洁干燥模组状态检测方法、装置及平坦化设备在审
| 申请号： | 202210508423.9 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN114612474A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 盛思杰 | 申请（专利权）人： | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/13;G06T7/155;G06T7/168;G06T7/62;H01L21/67 |
| 代理公司： | 杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267 | 代理人： | 邵志 |
| 地址： | 311300 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆清洁干燥模组状态检测方法，包括以下步骤：获取晶圆正常放置的标准图像；对标准图像预处理，获取晶圆正常放置的标准图像轮廓；获取标准图像轮廓的参数；获取待测图像；对待测图像预处理，判断是否存在晶圆，若存在晶圆则获取待测图像轮廓；获取待测图像轮廓的参数；将待测图像轮廓的参数与标准图像轮廓的参数作比较，判断其差值是否在设定范围内，若差值超过设定阈值，则判断为晶圆倾斜。本发明还公开了一种晶圆清洁干燥模组状态检测装置。本发明还公开了一种化学机械平坦化设备。本发明实现了晶圆有无和晶圆是否倾斜的实时检测，检测准确率高，检测时间短。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洁 干燥 模组 状态 检测 方法 装置 平坦 设备 | ||
【主权项】：
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