[发明专利]一种射频电源在审
| 申请号： | 202210498880.4 | 申请日： | 2022-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN115001414A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 贾文华;李加波;乔世波 | 申请（专利权）人： | 西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H03F1/34 | 分类号： | H03F1/34;H03F1/52;H03F3/19;H03F3/21;H03G3/30 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种射频电源，应用于半导体装备技术领域，射频电源包括主控模块、信号发生器、检测模块和自动增益控制模块，自动增益控制模块包括反馈控制电路、直流电源电路、功率放大电路。主控模块分别向反馈控制电路和信号发生器输入功率设定值和频率设定值；信号发生器向功率放大电路输入频率控制信号；检测模块向反馈控制电路输入前向功率值；反馈控制电路向直流电源电路输出直流电压控制信号；直流电源电路向功率放大电路输出供电电压；功率放大电路对频率控制信号进行放大，输出射频信号。该射频电源可以调节反馈控制电路的积分时间与设定功率值匹配，解决射频电源工作过程中由于设定功率值与积分时间不匹配导致的过激或响应较慢的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 电源 | ||
【主权项】：
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