[发明专利]一种片上微腔超声增敏掏空芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 202210491756.5 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN114859463B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 李朝晖;钟锐峰;潘竞顺;李强 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/13;G02B6/136 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出了一种片上微腔超声增敏掏空芯片及其制备方法，涉及片上微腔超声探测结构设计的技术领域，从当前片上微腔超声探测芯片本身出发，沿硅衬底层的下底面向硅衬底层内部刻蚀掏空出一个腔体，降低了传统片上微腔超声探测结构对微环谐振腔的结构限制，提升了微环谐振腔扰动的自由度，增大了微环谐振腔的形变量及响应灵敏度，提高了微环谐振腔的应变能力，从而在片上微腔超声探测芯片用于超声探测时，提高了声探测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 片上微腔 超声 掏空 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山大学，未经中山大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210491756.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种表警联动家用燃气报警系统
- 下一篇：一种用于村镇污水处理的一体化装置
