[发明专利]定量评估NMOS晶体管焊料层孔隙安全分布区域的方法在审

专利信息
申请号: 202210477014.7 申请日: 2022-05-02
公开(公告)号: CN114894838A 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 陈凡;刘大鹏;赵容;李娟;陈龙;刘建设 申请(专利权)人: 上海精密计量测试研究所
主分类号: G01N25/20 分类号: G01N25/20;G01N15/08
代理公司: 上海航天局专利中心 31107 代理人: 余岢
地址: 201109 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明的定量评估NMOS晶体管焊料层孔隙安全分布区域的方法包括:制备一系列焊料层孔隙率相同、孔隙分布位置不同的标定样品;通过超声波扫描显微镜验证各标定样品焊料层孔隙分布情况;采用瞬态热阻法获得孔隙位置与热阻参数的关系;根据孔隙位置与热阻参数的关系,确定焊料层孔隙的安全分布范围。本发明根据焊料孔隙‑芯片焊盘中心点间距,定量确定焊料层孔隙的安全分布区域,剔除含有显著影响散热性能孔隙的器件,保留含有不显著影响散热性能孔隙的器件,减少NMOS晶体管不必要的批退、返厂和报废,提升NMOS晶体管的利用率,解决了传统方法无法定量评估焊料孔隙位置对NMOS晶体管散热性能影响程度的不足。
搜索关键词: 定量 评估 nmos 晶体管 焊料 孔隙 安全 分布 区域 方法
【主权项】:
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