[发明专利]一种红外气体传感器结构及其应用在审
| 申请号： | 202210435177.9 | 申请日： | 2022-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN114965338A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 陶继方;徐茂森 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;B81B7/02 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 于兆生 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种红外气体传感器结构及其应用，属于传感器技术领域。结构包括PCB基板、气室、MEMS光源和MEMS红外探测器，其中，气室内设置有S型气体吸收腔，气室上设置有透气孔，气室固定于PCB基板，S型气体吸收腔两端对应位置的PCB基板上分别设置有MEMS光源和MEMS红外探测器。本发明通过提高红外光耦合效率和光程提高了红外气体传感器的灵敏度和分辨率，实现红外气体传感器的高集成化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 气体 传感器 结构 及其 应用 | ||
【主权项】：
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