[发明专利]标准镜单元、标准镜安装组件及晶圆检测装置在审
| 申请号： | 202210432627.9 | 申请日： | 2022-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN114894117A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 曾安;唐寿鸿;陈建强;朱充 | 申请（专利权）人： | 南京中安半导体设备有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/30;G01B11/06;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 蒋爱花 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市自由贸易试*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种标准镜单元、标准镜安装组件及晶圆检测装置，所述标准镜单元包括标准镜及至少两个凸块，所述至少两个凸块固定在所述标准镜的外周表面上且沿周向间隔设置。本申请提供的技术方案，在标准镜的外周表面设置凸块，通过凸块来安装标准镜，可以使得安装后的两个标准镜之间具有较小的间隙，在待检测的物体例如晶圆位于该两个标准镜之间进行检测时，由于较小的间隙中气阻较大，晶圆不容易产生振动，利于提升晶圆的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 标准 单元 安装 组件 检测 装置 | ||
【主权项】：
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