[发明专利]一种高频蓝光肖特基光电二极管阵列

摘要

本发明公开了一种高频蓝光肖特基光电二极管阵列，该器件包括多个探测单元和多个隔离区，探测单元按行列规则排布成阵列，基于基底上的每个探测单元包括铝电极层、硅层、二氧化硅绝缘层、金电极层和空气孔阵列，所述基底上表面覆盖铝电极层，所述铝电极层的上表面设有硅层，所述硅层上表面覆盖二氧化硅层，所述二氧化硅层上表面设置有金电极层，所述探测单元阵列由探测单元按行列规则排列构成，所述探测单元之间为隔离凹槽及隔离凹槽内的填充物。本发明能够提高探测单元器件的响应速率、增强光电二极管阵列对蓝光的吸收效率和改变可见光的反射率和透射率。本发明作为一种高频蓝光肖特基光电二极管阵列，可广泛应用于光电技术领域。