[发明专利]一种压电调谐F-P滤波器的高精度装调系统、装调及调谐方法有效
| 申请号： | 202210420408.9 | 申请日： | 2022-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN114545702B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 丛蕊;王义坤;孟令强;杨秋杰;边伟;贾建军;王建宇 | 申请（专利权）人： | 国科大杭州高等研究院 |
| 主分类号： | G02F1/21 | 分类号： | G02F1/21;G01M11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 邓世凤 |
| 地址： | 310024 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明提供一种压电调谐F‑P滤波器的高精度装调系统、装调及调谐方法，通过二维精密测角模块测量F‑P滤波器内动腔镜和定腔镜相对反射镜面之间的二维倾角，测量结果可以溯源到激光波长，测量精度极高；通过六维精密调整模块根据二维精密测角模块所测量的F‑P滤波器内动腔镜和定腔镜相对反射镜面之间的二维倾角带动F‑P腔内动腔镜，实现F‑P腔内两反射镜面之间的平行度和初始腔长的精确调整，其中：平行度调节精度可以达到 |
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| 搜索关键词： | 一种 压电 调谐 滤波器 高精度 系统 方法 | ||
【主权项】：
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