[发明专利]一种皮拉尼传感器在审
申请号: | 202210410111.4 | 申请日: | 2022-04-19 |
公开(公告)号: | CN114720047A | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | 李亮;王晶;李振;刘广才;冯新用;郭宇;曹祥宽;卢会峰;凌星;程文播 | 申请(专利权)人: | 天津国科医工科技发展有限公司 |
主分类号: | G01L21/00 | 分类号: | G01L21/00 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人: | 杨明霞 |
地址: | 300300 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及一种皮拉尼传感器,包括:第一支撑杆、第二支撑杆、金属细丝、盖子、内衬、外腔体,外腔体的一端的内壁上开设有安装槽,内衬安装在安装槽内,外腔体和内衬通过盖子固定,第一支撑杆、第二支撑杆贯穿盖子和内衬,金属细丝安装在第一支撑杆和第二支撑杆之间。本发明设计了带有陶瓷内衬的双层腔体结构,使用陶瓷内衬降低了由气体分子与内壁碰撞造成的热量损耗;通过内腔体和外腔体形成内外双层腔体结构,传感电阻丝完全被包裹于内腔体中,最大程度的避免了大量气体分子涌入对电阻丝造成的冲击;内腔体结构有助于抑制真空急速变化带来的腔体内壁温度波动,使得真空压力度数更加准确稳定,提高了响应速度,且无需考虑真空计的安装方向。 | ||
搜索关键词: | 种皮 传感器 | ||
【主权项】:
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